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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种晶体的定向切割方法	发明专利	CN201611241921.2	CN106738390B	2019-06-04
2	一种晶体的定向切割方法及定位粘接装置	发明专利	CN201611241921.2	CN106738390A	2017-05-31
3	无掺杂元素的高纯半绝缘碳化硅晶体生长装置	实用新型	CN201521078544.6	CN205313717U	2016-06-15
4	一种SiC单晶生长设备中坩埚独立旋转机构	实用新型	CN201521060739.8	CN205313716U	2016-06-15
5	一种SiC单晶晶向角度补偿加工装置	发明专利	CN201310671401.5	CN103692301B	2016-01-20
6	SiC晶体生长炉测温窗	发明专利	CN201110183818.8	CN102337592B	2013-10-30
7	一种可移动可调节的感应加热线圈机构	发明专利	CN201110183817.3	CN102271433B	2012-12-12
8	SiC晶体生长炉测温窗	发明专利	CN201110183818.8	CN102337592A	2012-02-01
9	一种可移动可调节的感应加热线圈机构	发明专利	CN201110183817.3	CN102271433A	2011-12-07

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