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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种真空镀膜机的观察基板窗口	实用新型	CN201821022686.4	CN208733224U	2019-04-12
2	一种真空镀膜机的光学监控装置	实用新型	CN201821021868.X	CN208485948U	2019-02-12
3	一种真空镀膜机的冷冻机	实用新型	CN201821020851.2	CN208485940U	2019-02-12
4	一种玻璃板真空镀膜生产用低温泵的固定机构	实用新型	CN201821022640.2	CN208474187U	2019-02-05
5	一种真空镀膜机的电控柜	实用新型	CN201821030084.3	CN208423510U	2019-01-22
6	一种真空镀膜机的抽气机构	实用新型	CN201821021883.4	CN208414546U	2019-01-22
7	一种新型玻璃板真空镀膜生产设备	实用新型	CN201821021850.X	CN208414545U	2019-01-22
8	一种真空镀膜机的离子源控制器	实用新型	CN201821022681.1	CN208414544U	2019-01-22
9	一种真空镀膜机的遥控盒固定机构	实用新型	CN201821022635.1	CN208414543U	2019-01-22
10	一种便于基片翻转的真空镀膜机	实用新型	CN201821030085.8	CN208414541U	2019-01-22

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