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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种提高三氯氢硅品质的方法	发明专利	CN202111158816.3	CN113716570A	2021-11-30
2	一种多晶硅尾气的能量综合利用方法	发明专利	CN202111158442.5	CN113666377A	2021-11-19
3	一种固定流化工艺	发明专利	CN201811076280.9	CN109395675B	2021-07-20
4	一种用于多晶硅还原炉底盘和尾气的冷却水系统	实用新型	CN202021858175.3	CN213041076U	2021-04-23
5	一种基于还原炉炉筒的保护装置	实用新型	CN202021525844.5	CN213041046U	2021-04-23
6	用于多晶硅还原炉的冷却系统	实用新型	CN202021858185.7	CN213041033U	2021-04-23
7	一种多晶硅生产用杂质脱除系统	实用新型	CN202021849542.3	CN213037421U	2021-04-23
8	一种细硅粉用三氯氢硅合成炉	实用新型	CN202021524354.3	CN213037420U	2021-04-23
9	一种硅棒布置结构	实用新型	CN202021172447.4	CN213037419U	2021-04-23
10	一种60对棒还原炉	实用新型	CN202021173996.3	CN212769889U	2021-03-23

共 16 页

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