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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种异质结太阳电池及其制备方法	发明专利	CN202110596804.2	CN113224182A	2021-08-06
2	一种异质结电池生产中制绒绒面处理的方法	发明专利	CN202010408459.0	CN111430478B	2021-07-27
3	载板传输装置及其系统和载板传输方法	发明专利	CN202110474322.X	CN113023234A	2021-06-25
4	一种快速清洗大面积真空腔室内累积薄膜的方法	发明专利	CN202011370190.8	CN112609168A	2021-04-06
5	一种硅片预处理及异质结电池制备方法	发明专利	CN202011429536.7	CN112542531A	2021-03-23
6	一种基于等离子体处理的SHJ太阳电池	实用新型	2020211494453	CN212412066U	2021-01-26
7	一种太阳电池组件制作用层压装置	实用新型	2020208227226	CN212392255U	2021-01-22
8	一种硅异质结太阳电池用TCO薄膜的制作设备	实用新型	CN202020646558.8	CN211929515U	2020-11-13
9	一种含有臭氧的喷淋式清洗硅片的装置	实用新型	CN201922477727.X	CN211914785U	2020-11-13
10	一种SHJ电池生产中不良返工方法	发明专利	CN202010775191.4	CN111900232A	2020-11-06

共 8 页

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