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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种带水汽蒸发系统的工艺腔室	发明专利	CN202110799500.6	CN113380677A	2021-09-10
2	一种扩散炉顶部集热冷却排风装置	发明专利	CN202110801045.9	CN113375469A	2021-09-10
3	一种多气体均匀混气罐	发明专利	CN202110801044.4	CN113368723A	2021-09-10
4	一种带螺旋蒸汽管的水汽蒸发系统	发明专利	CN202110802044.6	CN113336288A	2021-09-03
5	一种立式高温氧化、退火炉	发明专利	CN202110191565.2	CN112833661A	2021-05-25
6	一种石英双炉门结构	发明专利	CN202010481591.4	CN111486712A	2020-08-04
7	卷对卷石墨烯薄膜连续生长设备	发明专利	CN201610506736.5	CN105908149B	2018-12-14
8	卷对卷石墨烯薄膜连续生长设备	发明专利	CN201610506736.5	CN105908149A	2016-08-31

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