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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种用于芯片加工的低温氧化装置	实用新型	CN202121379363.2	CN215266250U	2021-12-21
2	一种半导体激光脱毛系统	实用新型	CN202121719458.4	CN215228366U	2021-12-21
3	一种半导体晶圆表面处理装置及处理方法	发明专利	CN202110176974.5	CN112894515B	2021-12-21
4	一种自动驾驶汽车用激光测距装置	实用新型	CN202121699796.6	CN215219148U	2021-12-17
5	一种半导体芯片的运输装置	实用新型	CN202121523082.X	CN215206779U	2021-12-17
6	一种半导体生产用切割装置	实用新型	CN202121654703.8	CN215202833U	2021-12-17
7	一种半导体晶片清洗机	实用新型	CN202121389011.5	CN215198472U	2021-12-17
8	一种半导体发光二极管制造用胶体快速成型装置	发明专利	CN202011570532.0	CN112701208B	2021-12-17
9	一种半导体制备用抛光装置	发明专利	CN202011015240.0	CN112123171B	2021-12-17
10	一种用于高新材料加工用激光切割结构	发明专利	CN202010680900.0	CN111790991B	2021-12-17

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