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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	集成组合件、其制作方法、半导体存储器及电子设备	发明专利	CN202010271223.7	CN113496994A	2021-10-12
2	半导体器件的检测方法、半导体器件及电子设备	发明专利	CN202010270702.7	CN113496908A	2021-10-12
3	研磨头气动装置及研磨头	发明专利	CN202010695430.5	CN111805418B	2021-09-21
4	一种远程等离子体输送管以及远程等离子体处理设备	发明专利	2020109918349	CN112259432A	2021-01-22
5	主动减震系统及具有其的扫描电子显微镜	发明专利	CN202011019851.2	CN112228494A	2021-01-15
6	光刻胶收集杯清理方法及光刻胶收集杯清理设备	发明专利	CN202010752074.6	CN112090890A	2020-12-18
7	除尘管道及扩散设备	发明专利	CN202010691355.5	CN112077084A	2020-12-15
8	紧急按钮装置及具有其的设备	发明专利	CN202010702042.5	CN112071685A	2020-12-11
9	用于晶圆翻转的机械手及机器人	发明专利	CN202010702501.X	CN112060112A	2020-12-11
10	检测及清理光掩模的玻璃面及膜面上的微尘的装置及方法	发明专利	CN202010763336.9	CN112051273A	2020-12-08

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