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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种真空状态可调的碳管炉	实用新型	CN201620319531.1	CN205561541U	2016-09-07
2	一种热解氮化硼用的沉积炉	实用新型	CN201620348636.X	CN205556773U	2016-09-07
3	生产氮化硼制品的气相沉积炉的集成旋转模块	实用新型	CN201520020440.3	CN204509458U	2015-07-29
4	热解氮化硼板材的制备方法及该方法所用的气相沉积炉	发明专利	CN201110323008.8	CN102330068B	2012-10-10
5	热解氮化硼板材的制备方法及该方法所用的气相沉积炉	发明专利	CN201110323008.8	CN102330068A	2012-01-25
6	一种气相沉积炉	实用新型	CN201020617180.5	CN201890928U	2011-07-06

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