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  • 富乐德

    上海富乐德智能科技发展有限公司

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    • 地址:上海市宝山区山连路181号10幢
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    • 商标信息 0
    • 专利信息 33
    • 软件著作权 0
    • 作品著作权 0
    • 网站备案 0

    商标信息0

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    专利信息33

    序号 专利名称 专利类型 申请号 公开(公告)号 公布日期
    1 一种洁净室用包装袋表面微污染的测试方法 发明专利 CN202110890729.0 CN113484446A 2021-10-08
    2 一种半导体制造用气体分散部件表面痕量元素污染的测试方法 发明专利 CN202110901283.7 CN113484403A 2021-10-08
    3 适用于钨化学气相沉积设备圆顶罩的周转运输泡棉 实用新型 CN202022762353.9 CN214268487U 2021-09-24
    4 一种半导体设备ALD氮化钛装置喷头旋转打磨治具 实用新型 CN202022868421.X CN214265162U 2021-09-24
    5 半导体设备离子植入装置法兰凸缘的打磨固定保护治具 实用新型 CN202022774193.X CN214265160U 2021-09-24
    6 一种用于半导体光电设备电极板的高压水洗治具 实用新型 CN202023220131.0 CN214263146U 2021-09-24
    7 半导体生产设备的喷淋部件的洗净浸泡治具 实用新型 CN202022862827.7 CN214263143U 2021-09-24
    8 一种SiC外延晶圆片的洗净再生方法 发明专利 CN202110516735.X CN113399341A 2021-09-17
    9 一种半导体制造设备部件表面痕量污染的测试方法 发明专利 CN202110498098.8 CN113311057A 2021-08-27
    10 一种晶圆ETCH制程设备静电吸盘的洗净再生方法及装置 发明专利 CN202110498080.8 CN113299532A 2021-08-24

    软件著作权0

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    作品著作权0

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    网站备案0

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