商标信息0
专利信息33
序号 | 专利名称 | 专利类型 | 申请号 | 公开(公告)号 | 公布日期 |
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1 | 一种洁净室用包装袋表面微污染的测试方法 | 发明专利 | CN202110890729.0 | CN113484446A | 2021-10-08 |
2 | 一种半导体制造用气体分散部件表面痕量元素污染的测试方法 | 发明专利 | CN202110901283.7 | CN113484403A | 2021-10-08 |
3 | 适用于钨化学气相沉积设备圆顶罩的周转运输泡棉 | 实用新型 | CN202022762353.9 | CN214268487U | 2021-09-24 |
4 | 一种半导体设备ALD氮化钛装置喷头旋转打磨治具 | 实用新型 | CN202022868421.X | CN214265162U | 2021-09-24 |
5 | 半导体设备离子植入装置法兰凸缘的打磨固定保护治具 | 实用新型 | CN202022774193.X | CN214265160U | 2021-09-24 |
6 | 一种用于半导体光电设备电极板的高压水洗治具 | 实用新型 | CN202023220131.0 | CN214263146U | 2021-09-24 |
7 | 半导体生产设备的喷淋部件的洗净浸泡治具 | 实用新型 | CN202022862827.7 | CN214263143U | 2021-09-24 |
8 | 一种SiC外延晶圆片的洗净再生方法 | 发明专利 | CN202110516735.X | CN113399341A | 2021-09-17 |
9 | 一种半导体制造设备部件表面痕量污染的测试方法 | 发明专利 | CN202110498098.8 | CN113311057A | 2021-08-27 |
10 | 一种晶圆ETCH制程设备静电吸盘的洗净再生方法及装置 | 发明专利 | CN202110498080.8 | CN113299532A | 2021-08-24 |
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