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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种晶圆承载结构及半导体检测设备	发明专利	CN202111050284.1	CN113793827A	2021-12-14
2	一种运动台控制装置	发明专利	CN202110958730.2	CN113703491A	2021-11-26
3	一种连接装置	发明专利	CN202110958737.4	CN113685668A	2021-11-23
4	一种信号处理装置及其方法	发明专利	CN202110958728.5	CN113659987A	2021-11-16
5	一种缺陷检测装置及缺陷检测方法	发明专利	CN202110959661.7	CN113533353A	2021-10-22
6	一种表面缺陷的检测系统及检测方法	发明专利	CN202110958746.3	CN113533352A	2021-10-22
7	一种面板缺陷检测装置及检测方法	发明专利	CN202110958739.3	CN113533351A	2021-10-22

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