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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	连续生产乙硅烷的方法及反应系统	发明专利	CN202111452068.X	CN114180580A	2022-03-15
2	利用等离子球磨裂解合成高阶硅烷的方法	发明专利	CN202111452067.5	CN114105148A	2022-03-01
3	一种乙硅烷残气瓶处理装置	发明专利	CN202111176231.4	CN113970064A	2022-01-25
4	一种制备氯代硅烷的方法	发明专利	CN202111056533.8	CN113912066A	2022-01-11
5	一种含硅烷尾气的安全排放装置	发明专利	CN202111176114.8	CN113813748A	2021-12-21
6	高纯乙硅烷纯化过滤装置	实用新型	CN202022167724.9	CN213528025U	2021-06-25
7	低温硅烷精馏装置内部的再沸机构	发明专利	CN201510947357.5	CN105413223B	2017-09-22
8	一种乙硅烷低温精馏装置	实用新型	CN201520817748.0	CN205115061U	2016-03-30
9	低温硅烷精馏装置内部的再沸机构	发明专利	CN201510947357.5	CN105413223A	2016-03-23
10	一种硅化镁反应炉	发明专利	CN201010176487.0	CN101850977B	2011-04-20

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