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专利信息21

序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种用于激光直写光刻设备的激光功率计	实用新型	CN202220324111.8	CN216668997U	2022-06-03
2	一种基于高速光纤以太网络的超高速数据传输系统及方法	发明专利	CN202210147711.6	CN114510448A	2022-05-17
3	一种用于光刻机的对准镜头	发明专利	CN202210148119.8	CN114488487A	2022-05-13
4	一种用于光刻机的倍率内调镜头	发明专利	CN202111575713.7	CN114217425A	2022-03-22
5	一种用于曲面材料直写光刻设备的背光照明装置	实用新型	CN202122412139.5	CN215833760U	2022-02-15
6	一种基于TEC的大功率恒温控制系统	实用新型	CN202122411922.X	CN215450005U	2022-01-07
7	一种适用于直写光刻机的高速数据传输系统	发明专利	CN202111169407.3	CN113903366A	2022-01-07
8	一种基于光源和图形发生器同步控制的高速光刻方法	发明专利	CN202110604017.8	CN113359396A	2021-09-07
9	一种光刻设备的环境监测系统	发明专利	CN202110604019.7	CN113252109A	2021-08-13
10	一种靶标识别方法	发明专利	CN202110604036.0	CN113222978A	2021-08-06

软件著作权9

序号	软件名称	软件简称	版本号	登记号	分类号	首次发表日期	登记批准日期
1	数字光刻系统GDR系列设备控制软件	Go-DLS C-ONE	V1.0	2022SR0225224	-	-	2022-02-14
2	数字光刻系统资料管理软件	Go-DLS IMS	V1.2	2022SR0225223	-	-	2022-02-14
3	数字光刻系统单平台设备控制软件	Go-DLS ECS T-Single	V1.0	2022SR0225211	-	-	2022-02-14
4	数字光刻系统资料管理软件	Go-DLS IMS	V1.0	2020SR1834194	-	-	2020-12-16
5	GDI系列数字光刻机控制软件	GDI系列控制软件	V1.0	2020SR1833743	-	-	2020-12-16
6	数字光刻系统设备配置软件	Go-DLS HCS	V1.0	2020SR1830645	-	-	2020-12-16
7	GX-LDM激光器模组控制软件	GX-LDM控制软件	V1.0	2020SR1830643	-	-	2020-12-16
8	数字光刻系统设备控制软件	Go-DLS ECS	V1.0	2020SR1819276	-	-	2020-12-15
9	数字光刻系统设备标定软件	Go-DLS DCS	V1.0	2020SR1819257	-	-	2020-12-15

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