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专利信息6

序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种碳碳埚	实用新型	CN202122621691.5	CN216107317U	2022-03-22
2	一种颗粒硅的拉晶工艺	发明专利	CN202111307509.7	CN114016124A	2022-02-08
3	一种单晶炉排气管路自清洁系统及其装置	发明专利	CN202111307513.3	CN114011816A	2022-02-08
4	一种降氧拉晶工艺和石英坩埚	发明专利	CN202111305898.X	CN113981525A	2022-01-28
5	一种水冷屏、单晶硅生长装置及单晶硅生长方法	发明专利	CN202111266420.0	CN113981524A	2022-01-28
6	一种单晶炉液口距设置方法	发明专利	CN202111266358.5	CN113913922A	2022-01-11

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