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知识产权132

商标信息 2
专利信息 123
软件著作权 7
作品著作权 0
网站备案 0

商标信息2

序号	商标名称	国际分类	注册号	状态	申请日期	操作
1	芯硕半导体	09类-科学仪器	6043725	商标无效	2007-05-11	查看
2	ADVAN TOOLS	09类-科学仪器	6043724	商标无效	2007-05-11	查看

专利信息123

序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种LDI双工件曝光装置及曝光方法	发明专利	CN201510434790.9	CN104950599B	2019-07-19
2	一种用于半导体光刻的多功能高产能吸盘	发明专利	CN201510253487.9	CN104914679B	2018-11-20
3	一种上下分布式双工件台装置	发明专利	CN201510398828.1	CN104950598B	2017-05-24
4	一种基准式双工件台装置	发明专利	CN201510397473.4	CN104950597B	2017-05-24
5	一种侧立安装式双工件台装置	发明专利	CN201510395251.9	CN104950595B	2017-05-24
6	一种两自由度运动真空吸盘管线结构	发明专利	CN201510094791.3	CN104678717B	2017-01-25
7	一种气体保护镜头	发明专利	CN201410479027.3	CN104281012B	2016-08-24
8	一种精密定位平台绝对定位精度的测量及补偿方法	发明专利	CN201410425856.3	CN104199257B	2016-08-24
9	获取激光直接成像设备的最佳焦面距离的方法	发明专利	CN201410586389.2	CN105549346A	2016-05-04
10	一种小尺寸PCB板装夹装置	实用新型	CN201520537087.6	CN205040100U	2016-02-17

共 13 页

软件著作权7

序号	软件名称	软件简称	版本号	登记号	分类号	首次发表日期	登记批准日期
1	ATI半导体检测设备软件	ATI	V1.0	2015SR087875	10100-0000	2012-06-01	2015-05-22
2	ATD 半导体激光直写光刻设备软件	ATD	V1.0	2015SR087087	30200-0000	2015-01-01	2015-05-21
3	LDI 全制程激光直写成像设备软件	LDI	V1.0	2015SR086728	30200-0000	2014-07-01	2015-05-21
4	ATD1000直写式光刻机控制系统软件	ATD1000光刻软件	V1.2	2011SR093446	30200-4000	2009-10-11	2011-12-12
5	芯硕半导体ATD2000P直写式光刻设备控制系统	ATD2000P光刻软件	V1.0	2011SR086189	40000-3600	2011-09-20	2011-11-23
6	芯硕半导体LDI6800直接成像设备控制系统	LDI6800控制系统软件	V1.0	2011SR086187	40000-3600	2011-06-28	2011-11-23
7	芯硕晶圆检测设备控制系统	芯硕晶圆检测软件	V1.0	2011SR053662	30200-4000	2009-10-11	2011-08-01

作品著作权0

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暂无作品著作权

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