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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种黄金材料中总碳的分析定量方法	发明专利	CN202011258398.0	CN112504906A	2021-03-16
2	一种铜金合金轧制工艺	发明专利	CN201910141035.X	CN109777993B	2021-03-16
3	一种钛铝合金靶材的制备方法	发明专利	CN202011284467.5	CN112410739A	2021-02-26
4	一种粉末冶金靶材及其制造方法	发明专利	CN202011284459.0	CN112410738A	2021-02-26
5	一种硅管溅射靶材的制备方法	发明专利	CN202011284440.6	CN112410737A	2021-02-26
6	一种镍铂合金溅射靶材及其制备方法	发明专利	CN202011286540.2	CN112410608A	2021-02-26
7	一种靶材生产用锻压机	发明专利	CN202011279958.0	CN112371892A	2021-02-19
8	一种银合金靶材及其制备方法	发明专利	CN202011286562.9	CN112323030A	2021-02-05
9	一种玻璃基板薄膜溅射靶材的制备方法	发明专利	CN202011284457.1	CN112323029A	2021-02-05
10	一种靶材及应用该靶材的半导体器件加工设备	发明专利	CN202011281403.X	CN112295492A	2021-02-02

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