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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	MOCVD装置输运管检漏用连接机构	实用新型	CN202022199637.1	CN213513220U	2021-06-22
2	PECVD晶圆加热用保护装置	实用新型	CN202022199614.0	CN213507190U	2021-06-22
3	用于冷却板上通水柱的防变形焊接工装	实用新型	CN202022178448.6	CN213497409U	2021-06-22
4	刻蚀机反应腔顶盖的冷却管成型工装	实用新型	CN202022199576.9	CN213495829U	2021-06-22
5	具有高温加热功能的晶圆传输装置	实用新型	CN202022199641.8	CN213150746U	2021-05-07
6	一种晶圆加热器表面温度分布检测装置	实用新型	CN201922228724.2	CN213022000U	2021-04-20
7	用于晶圆升降的顶针支撑部件的装配方法	发明专利	CN202011053640.0	CN112192496A	2021-01-08
8	刻蚀机用气体喷淋盘的加工工艺	发明专利	CN202011062043.4	CN112192154A	2021-01-08
9	晶圆传输装置及底座的加工方法	发明专利	CN202011062065.0	CN112157407A	2021-01-01
10	一种等离子刻蚀机用全封闭式云母加热基座	实用新型	CN202020270294.0	CN211879329U	2020-11-06

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1	靖江先锋半导体科技有限公司	www.sprint-tech.com	苏ICP备2020064806号	企业	2020-11-23
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