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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种含有自检测功能的多轴压阻式加速度传感器及其制造方法	发明专利	CN201610589586.9	CN106199072B	2019-10-18
2	一种含有过载限位装置的电容式加速度传感器及其制造方法	发明专利	CN201610589605.8	CN106248993B	2019-06-21
3	一种含有自检测功能的面内压阻式加速度传感器及其制造方法	发明专利	CN201610589538.X	CN106093471B	2019-06-21
4	一种电容式压力传感器及其制造方法	发明专利	CN201610031110.3	CN105890827B	2019-05-21
5	一种电容式复合传感器及其制造方法	发明专利	CN201610590821.4	CN106290985B	2019-04-12
6	一种MEMS加速度传感器及制造方法	发明专利	CN201610312471.5	CN106018879B	2019-03-22
7	压控振荡电路	发明专利	CN201610463005.7	CN106100584B	2019-02-01
8	一种晶体管、电荷泵组件以及电荷泵	发明专利	CN201610272685.4	CN105743328B	2019-02-01
9	一种MEMS压阻式加速度传感器及其加工方法	发明专利	CN201510863889.0	CN105353167B	2019-02-01
10	一种加速度传感器及其制作方法	发明专利	CN201610032044.1	CN105675921B	2018-10-26

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