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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	35片装立式放置晶圆盒	实用新型	CN202021343775.6	CN213832569U	2021-07-30
2	多片立式放置晶圆盒及上盖	实用新型	CN202020436121.1	CN212767600U	2021-03-23
3	可升降式喷淋清洗装置	实用新型	CN201922278774.1	CN211587852U	2020-09-29
4	多片水平放置晶圆盒及隔离环	实用新型	CN201922444189.4	CN211088229U	2020-07-24
5	环形隔离圈	外观专利	CN201930111011.0	CN305497399S	2019-12-17
6	晶圆包装用环形垫圈	实用新型	CN201920342667.8	CN209796310U	2019-12-17
7	立式晶圆托运盒	实用新型	CN201920342866.9	CN209757886U	2019-12-10
8	立式晶圆托运盒	外观专利	CN201930111220.5	CN305400336S	2019-10-25

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