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商标信息 1
专利信息 33
软件著作权 4
作品著作权 0
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商标信息1

序号	商标名称	国际分类	注册号	状态	申请日期	操作
1	旭熠电子	07类-机械设备	10777923	商标已注册	2012-04-16	查看

专利信息33

序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种用于单片浸入式湿处理工艺的表面排气设备	实用新型	CN202122226003.5	CN215940848U	2022-03-04
2	蚀刻液收集装置	实用新型	CN202121764117.9	CN215429645U	2022-01-07
3	晶圆片清洗装置及包括其的晶圆电镀系统	实用新型	CN202121444913.4	CN215163232U	2021-12-14
4	一种用于单片浸入式湿处理工艺的表面排气设备及方法	发明专利	CN202111077679.0	CN113714188A	2021-11-30
5	电镀液保护装置及包括其的晶圆电镀系统	实用新型	CN202120684396.1	CN214612814U	2021-11-05
6	晶圆夹具	实用新型	CN202120512184.5	CN214226899U	2021-09-17
7	晶圆片预处理装置	实用新型	CN202120512185.X	CN214226893U	2021-09-17
8	晶圆片清洗装置及包括其的晶圆电镀系统	发明专利	CN202110720663.0	CN113337864A	2021-09-03
9	电镀液搅拌模块及包括其的晶圆电镀系统	实用新型	CN202022828597.2	CN213708539U	2021-07-16
10	晶圆移动机构、晶圆电镀单元及含其的晶圆电镀设备	实用新型	CN202021662445.3	CN213652690U	2021-07-09

软件著作权4

序号	软件名称	软件简称	版本号	登记号	分类号	首次发表日期	登记批准日期
1	自动去胶机控制软件	自动去胶机程序	V1.0	2021SR1251387	-	-	2021-08-24
2	自动显影机控制软件	自动显影机控制	V1.0	2021SR1251384	-	-	2021-08-24
3	全自动PRS清洗机软件	-	V1.0	2021SR1102151	-	2021-05-18	2021-07-27
4	水平电镀机软件	-	V1.0	2021SR0991057	-	-	2021-07-06

作品著作权0

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