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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	导电薄膜多探针测量装置	实用新型	CN202020125069.8	CN211554146U	2020-09-22
2	导电薄膜方块电阻多探针测量头	实用新型	CN201921439542.3	CN210487867U	2020-05-08
3	导电薄膜多探针测量装置及其测量方法	发明专利	CN202010062468.9	CN111077373A	2020-04-28
4	晶圆导电薄膜加工设备	实用新型	CN201921167181.1	CN209804602U	2019-12-17
5	导电薄膜方块电阻多探针测量方法及测量头	发明专利	CN201910821249.1	CN110426558A	2019-11-08
6	晶圆导电薄膜加工系统	发明专利	CN201910669630.0	CN110364448A	2019-10-22

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