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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种用于砷化镓生产的热场装置	实用新型	CN201921364332.2	CN211036183U	2020-07-17
2	一种晶片加工用切片机	实用新型	CN201921272602.7	CN211030745U	2020-07-17
3	一种砷化镓晶片取放装置	实用新型	CN201921412887.X	CN210897238U	2020-06-30
4	一种用于砷化镓生产的单晶炉保温筒夹具	实用新型	CN201921273098.2	CN210886318U	2020-06-30
5	一种晶片加工机台的基座	实用新型	CN201921273094.4	CN210880360U	2020-06-30
6	一种方形晶片加工装置	实用新型	CN201921365686.9	CN210878980U	2020-06-30
7	一种用于半导体晶片加工的化蜡装置	实用新型	CN201921316952.9	CN210875252U	2020-06-30
8	一种砷化镓晶片生产加工废水的除砷装置	实用新型	CN201921318481.5	CN210855563U	2020-06-26
9	一种用于生产砷化镓的线锯机	实用新型	CN201821024878.9	CN208645716U	2019-03-26
10	一种用于生产砷化镓的自动研磨机	实用新型	CN201821024991.7	CN208304748U	2019-01-01

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