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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种太阳能电池用陶瓷靶材及其制备方法	发明专利	CN202210174352.3	CN114524664A	2022-05-24
2	一种靶材绑定用靶管加热装置	实用新型	CN202122882529.9	CN216491108U	2022-05-10
3	一种ITO旋转靶材成型外圆固定装置	实用新型	CN202122788203.X	CN216473456U	2022-05-10
4	一种痕量碳元素的高纯氧化铟纳米粉体的生产方法	发明专利	CN201910923990.9	CN110615463B	2021-12-31
5	一种旋转靶材表面打磨装置	实用新型	CN202021120294.9	CN213053964U	2021-04-27
6	一种EDTA滴定法测定残靶等含铟料中铟含量的方法	发明专利	CN202010514433.4	CN111796053A	2020-10-20
7	一种靶材绑定用靶管金属化装置	实用新型	CN201921738190.1	CN210711720U	2020-06-09
8	一种混合法制备ITO造粒粉体的方法	发明专利	CN202010048933.3	CN111138202A	2020-05-12
9	一种调节气氛炉微压压力用炉顶堵头	实用新型	CN201920475161.4	CN209960978U	2020-01-17
10	一种ITO靶材解绑装置	实用新型	CN201920475130.9	CN209957865U	2020-01-17

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