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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种降低区熔POLY背封单抛片边缘晶孔的加工工艺	发明专利	CN201910917213.3	CN110718457B	2022-07-08
2	一种提高大尺寸抛光片表面洁净度的清洗工艺	发明专利	CN202210187085.3	CN114639595A	2022-06-17
3	一种12英寸硅片包装工艺	发明专利	CN202011221911.9	CN112373840B	2022-06-14
4	一种远程控制自动拉制区熔硅单晶的系统	实用新型	CN202122656212.3	CN216712308U	2022-06-10
5	一种边抛液pH值自动调节装置	实用新型	CN202120638775.7	CN216513626U	2022-05-13
6	一种〈100〉晶向硅单晶研磨片表面损伤层厚度的测试方法	发明专利	CN202210352909.8	CN114485522A	2022-05-13
7	一种自动化储存设备及其使用方法	发明专利	CN202011231039.6	CN114435815A	2022-05-06
8	分篮倒片器	实用新型	CN202121337414.5	CN216084822U	2022-03-18
9	一种硅片下料装置	实用新型	CN202121747377.5	CN216071989U	2022-03-18
10	一种在线切料座上晶棒固化的料框式自动化仓储设备	实用新型	CN202120275975.0	CN216071589U	2022-03-18

共 53 页

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