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专利信息23

序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种用于液氮温度的方形玻璃观察窗的密封结构	实用新型	CN201821410967.7	CN209976359U	2020-01-21
2	一种用于超高真空系统的玻璃管密封结构	实用新型	CN201821410186.8	CN208859148U	2019-05-14
3	一种防水型分子泵机组	实用新型	CN201821410968.1	CN208858600U	2019-05-14
4	冷屏、装有该冷屏的有机物升华提纯设备	实用新型	CN201821410544.5	CN208839070U	2019-05-10
5	用于真空镀膜装置的样品台	实用新型	CN201820452446.1	CN208201113U	2018-12-07
6	用于磁控溅射生产线的一体式溅射环靶	实用新型	CN201820453866.1	CN208201109U	2018-12-07
7	一种磁控溅射圆形双环靶	实用新型	CN201820453830.3	CN208201108U	2018-12-07
8	用于磁控溅射生产线的环靶	实用新型	CN201820452564.2	CN208201107U	2018-12-07
9	束线型磁控溅射生产线	实用新型	CN201820452561.9	CN208201106U	2018-12-07
10	磁控溅射与电子束复合型镀膜机	实用新型	CN201820452448.0	CN208201105U	2018-12-07

软件著作权2

序号	软件名称	软件简称	版本号	登记号	分类号	首次发表日期	登记批准日期
1	束线型多腔室磁控溅射系统	腔室磁控溅射系统	V1.0	2019SR0375037	-	2017-09-19	2019-04-23
2	材料吸气及放气性能实验装置测试软件	材料吸放气测试软件	V1.0	2019SR0375023	-	2018-01-22	2019-04-23

作品著作权0

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序号	网站名	网址	备案号	主办单位性质	审核日期
1	-	www.swsvac.com	浙ICP备13028476号	企业	2022-01-10

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