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专利信息76

序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种3D NAND结构片干法蚀刻后的深沟槽清洗液	发明专利	CN202011395597.6	CN112592777B	2021-09-07
2	一种低选择性的BPSG和PETEOS薄膜的蚀刻液	发明专利	CN202011181031.3	CN112410036B	2021-09-07
3	一种去磨纹的硅蚀刻液	发明专利	CN202011139447.9	CN112251233B	2021-09-07
4	一种工业黄磷生产电子级磷酸的方法	发明专利	CN201811179929.X	CN109052352B	2021-09-07
5	黄磷减压精馏真空系统含磷废水回收利用的装置及方法	发明专利	CN201910563175.6	CN110302551B	2021-06-29
6	黄磷减压精馏真空系统含磷废水回收利用的装置及方法	发明专利	CN201910563175.6	CN110302551A	2021-06-29
7	一种选择性硅蚀刻液	发明专利	CN201911242534.4	CN111019659B	2021-06-08
8	一种选择性硅蚀刻液	发明专利	CN201911242534.4	CN111019659A	2021-06-08
9	一种钨和氮化钛金属薄膜的蚀刻液及其使用方法	发明专利	CN201910544828.6	CN110195229B	2021-05-14
10	一种混酸中氟硼酸的检测方法	发明专利	CN202011402675.0	CN112710777A	2021-04-27

共 8 页

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1	湖北兴福电子材料有限公司	www.sinophorus.com	鄂ICP备18018812号	企业	2018-08-20
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