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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种红外探测器及其制备方法	发明专利	CN201511031750.6	CN106935676B	2019-03-26
2	一种红外探测器及其制备方法	发明专利	CN201511031755.9	CN106935677B	2018-12-11
3	一种成像探测器的制造方法	发明专利	CN201410243357.2	CN105261622B	2017-12-22
4	一种红外探测器及其制备方法	发明专利	CN201511031755.9	CN106935677A	2017-07-07
5	成像探测器及其制造方法	发明专利	CN201410243348.3	CN105226130B	2017-03-29
6	一种成像探测器的制造方法	发明专利	CN201410243357.2	CN105261622A	2016-01-20
7	成像探测器及其制造方法	发明专利	CN201410243348.3	CN105226130A	2016-01-06
8	半导体结构及其制作方法	发明专利	CN201210425466.7	CN102923636B	2015-11-25
9	压力传感器和惯性传感器及其形成方法	发明专利	CN201310508730.8	CN103708409B	2015-10-07
10	制作MEMS惯性传感器的方法及MEMS惯性传感器	发明专利	CN201210126539.2	CN103373698B	2015-09-16

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