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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	垂直腔面发射激光器的结构及制造方法	发明专利	CN201911268085.0	CN111029901B	2021-06-29
2	垂直腔面发射激光器的结构及制造方法	发明专利	CN201911268085.0	CN111029901A	2021-06-29
3	多层多区垂直腔面发射激光器装置	发明专利	CN202010106042.9	CN111293584B	2021-04-16
4	光学芯片	发明专利	CN202010372423.1	CN111711068A	2020-09-25
5	多层多区垂直腔面发射激光器装置	发明专利	CN202010106042.9	CN111293584A	2020-06-16
6	基于垂直腔面发射激光器阵列的测距方法	发明专利	CN202010152025.9	CN111289990A	2020-06-16
7	高对比度光栅垂直腔面发射激光器及制造方法	发明专利	CN202010047048.3	CN111211488A	2020-05-29
8	基底转移垂直腔面发射激光器及其制造方法	发明专利	CN202010059560.X	CN111180995A	2020-05-19
9	底部发射垂直腔面发射激光器	发明专利	CN201911365489.1	CN111162451A	2020-05-15

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