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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种具有吹气保护的MEMSMIC	实用新型	CN202120266730.1	CN214381399U	2021-10-08
2	一种振动传感器的检测工装	实用新型	CN202120452934.4	CN214372908U	2021-10-08
3	一种振动传感器的检测工装	发明专利	CN202110232364.2	CN112595413B	2021-10-08
4	一种膜片、MEMS麦克风芯片及其制作方法	发明专利	CN202110893662.6	CN113347540A	2021-09-03
5	一种具有防尘结构的MEMS麦克风芯片及其制作方法	发明专利	CN202110867544.8	CN113316052A	2021-08-27
6	一种MEMS芯片及其制作方法、MEMS麦克风	发明专利	CN202110273355.8	CN112678764B	2021-07-30
7	一种具有泄气开关结构的MEMS麦克风	发明专利	CN202110519541.5	CN112954561B	2021-07-27
8	一种MEMS热电堆红外探测器及其制作方法	发明专利	CN202110380036.7	CN112802956B	2021-07-27
9	一种具有泄气开关结构的MEMS麦克风	发明专利	CN202110519541.5	CN112954561A	2021-06-11
10	一种驻极式自激励骨传导麦克风	发明专利	CN202110343921.8	CN112804627A	2021-05-14

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序号	网站名	网址	备案号	主办单位性质	审核日期
1	山东新港电子科技有限公司	www.xingangsd.com	鲁ICP备2021029098号	企业	2021-09-01
2	山东新港电子科技有限公司	www.xingangsd.cn	鲁ICP备2021029098号	企业	2021-08-06

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