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专利信息7

序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种微孔金属填充结构及填充方法	发明专利	CN201510323889.1	CN106298639B	2019-04-30
2	一种微孔填充设备	发明专利	CN201510943287.6	CN106882763B	2018-11-16
3	微纳机电晶圆的圆片级封装方法及结构	发明专利	CN201610040115.2	CN106986300A	2017-07-28
4	一种微孔填充设备	发明专利	CN201510943287.6	CN106882763A	2017-06-23
5	一种微孔金属填充结构及填充方法	发明专利	CN201510323889.1	CN106298639A	2017-01-04
6	一种微孔金属填充结构及方法	发明专利	CN201310064231.4	CN103107129B	2015-01-21
7	一种微孔金属填充结构及方法	发明专利	CN201310064231.4	CN103107129A	2013-05-15

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