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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	应用于LED激光切割设备的X-Y-θ运动平台	发明专利	CN200910031353.7	CN101570040B	2012-04-25
2	应用于LED激光切割设备的同轴影像系统	发明专利	CN200910027563.9	CN101559629B	2011-08-17
3	用于晶圆切割的紫外激光加工设备	发明专利	CN200810124267.6	CN101318264B	2011-01-12
4	新型应用于LED激光切割设备的X-Y-θ运动平台	实用新型	CN200920038934.9	CN201530059U	2010-07-21
5	一种新型应用于LED激光切割设备的同轴影像系统	实用新型	CN200920045235.7	CN201408286Y	2010-02-17
6	一种新型用于切割大幅面Micro Phone芯片的紫外激光设备	实用新型	CN200920045236.1	CN201405454Y	2010-02-17
7	一种新型用于切割大功率LED芯片用铜基板的紫外激光设备	实用新型	CN200920045234.2	CN201405162Y	2010-02-17
8	高精度激光刻蚀系统的接口控制卡	发明专利	CN200810019673.6	CN100590559C	2010-02-17
9	紫外激光晶圆划片设备	外观专利	CN200930029864.6	CN301112411D	2010-01-13
10	应用于LED激光切割设备的X-Y-θ运动平台	发明专利	CN200910031353.7	CN101570040A	2009-11-04

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