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专利信息7

序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种可减少调压次数的晶片研磨机	实用新型	CN201020262223.2	CN201728583U	2011-02-02
2	一种具有较高上盘提升平稳度的晶片研磨机	实用新型	CN201020262221.3	CN201728582U	2011-02-02
3	一种具有较高研磨精度的晶片研磨机	实用新型	CN201020262217.7	CN201728581U	2011-02-02
4	一种具有较高抗腐蚀性的晶片研磨机	实用新型	CN201020262202.0	CN201728580U	2011-02-02
5	砷化镓晶体生长用热场装置	实用新型	CN200820004406.7	CN201158722Y	2008-12-03
6	籽晶杆	实用新型	CN02285894.6	CN2578343Y	2003-10-08
7	直拉单晶生长装置	实用新型	CN02285928.4	CN2576728Y	2003-10-01

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