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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种切割晶片喷淋装置用喷嘴	实用新型	CN202022833024.9	CN214000068U	2021-08-20
2	一种砷化镓晶片片盒清洗装置	实用新型	CN202022773105.4	CN213915368U	2021-08-10
3	一种切割砂浆用搅拌装置	实用新型	CN202022841338.3	CN213913389U	2021-08-10
4	一种晶棒表面损伤层去除装置	实用新型	CN202022779632.6	CN213673467U	2021-07-13
5	一种晶棒表面损伤层去除装置用晶棒夹持装置	实用新型	CN202022772029.5	CN213673392U	2021-07-13
6	一种晶片转移夹持装置	实用新型	CN202022761215.9	CN213483734U	2021-06-18
7	一种砷化镓衬底专用清洗装置	实用新型	CN202022773081.2	CN213483720U	2021-06-18

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