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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种晶圆倒盒装置	发明专利	CN202111244045.X	CN113690169A	2021-11-23
2	单片晶圆清洗装置	实用新型	CN202120476734.2	CN214624981U	2021-11-05
3	单片晶圆清洗装置清洗盘结构	实用新型	CN202120477189.9	CN214254367U	2021-09-21
4	单片晶圆清洗装置清洗盘结构及单片晶圆清洗装置	发明专利	CN202110239959.0	CN113113328A	2021-07-13
5	单片晶圆清洗方法	发明专利	CN202110241048.1	CN113083766A	2021-07-09
6	基于往复升缩的半导体晶圆外壁清洗装置和方法	发明专利	CN202110365952.3	CN112802783B	2021-06-18
7	基于往复升缩的半导体晶圆外壁清洗装置和方法	发明专利	CN202110365952.3	CN112802783A	2021-06-18
8	基于超声震动式处理的半导体晶圆的清洗装置和方法	发明专利	CN202110365913.3	CN112735995B	2021-06-04
9	基于超声震动式处理的半导体晶圆的清洗装置和方法	发明专利	CN202110365913.3	CN112735995A	2021-06-04
10	基于加热干燥机构的半导体晶圆的清洗装置及清洗方法	发明专利	CN202110365883.6	CN112735994B	2021-06-04

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