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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种基板载台及蒸镀机	实用新型	CN202122654285.9	CN216107174U	2022-03-22
2	一种微硅显示面板以及微硅显示器	实用新型	CN202121822744.3	CN215418220U	2022-01-04
3	一种面蒸发源喷嘴结构	实用新型	CN202121827837.5	CN215328330U	2021-12-28
4	一种硅基微显示器及电子设备	实用新型	CN202121579244.1	CN215184056U	2021-12-14
5	一种化学品供应稳压装置	实用新型	CN202121663610.1	CN215170588U	2021-12-14
6	一种原子层沉积设备	实用新型	CN202121551452.0	CN215163107U	2021-12-14
7	一种显示面板、显示装置	实用新型	CN202121506046.2	CN214898498U	2021-11-26
8	一种显示面板及显示装置	实用新型	CN202121449335.3	CN214848686U	2021-11-23
9	一种硅基微显示器及其制备方法	发明专利	CN202110995493.7	CN113611730A	2021-11-05
10	一种贴片装置及硅基OLED玻璃盖板的贴合方法	发明专利	CN202110879540.1	CN113594391A	2021-11-02

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