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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	晶圆抛光的抛光压力控制方法、装置和设备	发明专利	CN201910500512.7	CN110193776B	2020-07-03
2	用于存储器的沟道柱及其制造方法	发明专利	CN201910531021.9	CN110176459B	2020-07-03
3	用于在晶圆沉积薄膜的设备	发明专利	CN201910582370.3	CN110246788B	2020-05-19
4	等离子体增强化学气相沉积系统	实用新型	CN201920994978.2	CN210458364U	2020-05-05
5	用于监控生产设备的运行的方法、装置和系统	发明专利	CN201910554924.9	CN110244677B	2020-03-20
6	用于半导体制造设备的气体管路控制装置	发明专利	CN201910560512.6	CN110289231B	2019-09-27
7	用于半导体制造设备的气体管路控制装置	发明专利	CN201910560512.6	CN110289231A	2019-09-27
8	一种3DNAND存储单元模组、存储器以及制作方法	发明专利	CN201910560500.3	CN110277396B	2019-09-24
9	一种3D NAND存储单元模组、存储器以及制作方法	发明专利	CN201910560500.3	CN110277396A	2019-09-24
10	增强半导体蚀刻能力的方法	发明专利	CN201910567610.2	CN110265290B	2019-09-20

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