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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	MEMS器件及其形成方法	发明专利	CN201010135707.5	CN102198925B	2015-03-04
2	惯性微机电传感器的制造方法	发明专利	CN201010200713.4	CN102275860B	2014-12-31
3	功率放大器及功率放大器的桥式电路	发明专利	CN201010114944.3	CN102170272B	2014-06-18
4	微机电装置及其制造方法	发明专利	CN201010200714.9	CN102275857B	2014-04-16
5	熔丝结构以及形成熔丝结构的方法	发明专利	CN201010244197.5	CN102347269B	2014-03-12
6	光调制器像素单元及其制作方法	发明专利	CN201010230027.1	CN102338931B	2014-03-12
7	微机电麦克风及其制造方法	发明专利	CN201010244213.0	CN102348155B	2014-02-05
8	陀螺仪及其制造方法	发明专利	CN201010200715.3	CN102278981B	2014-01-08
9	晶振及其制作方法	发明专利	CN201010193493.7	CN102270975B	2013-10-09
10	SOI晶片及其形成方法	发明专利	CN200910165230.2	CN101996922B	2013-09-04

共 6 页

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