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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种半导体石英部件可变径倒角机	发明专利	CN202111132143.4	CN113560985B	2021-12-14
2	一种半导体石英部件清洗设备	发明专利	CN202111071443.6	CN113522860B	2021-12-07
3	一种半导体外延石英部件加工砂轮、研磨装置以及磨床	发明专利	CN202111065615.9	CN113500502B	2021-11-30
4	一种半导体扩散设备的石英部件加工用定位装夹装置	实用新型	CN202122456478.3	CN214672563U	2021-11-09
5	一种半导体扩散设备的石英工件的倒角装置	实用新型	CN202122456479.8	CN214642425U	2021-11-09
6	一种半导体石英部件焊接对位装置	实用新型	CN202122340218.X	CN214518542U	2021-10-29
7	一种半导体石英部件可变径倒角机	发明专利	CN202111132143.4	CN113560985A	2021-10-29
8	一种半导体石英部件旋转平台	实用新型	CN202122215473.1	CN214488224U	2021-10-26
9	一种半导体石英部件清洗设备	发明专利	CN202111071443.6	CN113522860A	2021-10-22
10	一种半导体外延石英部件加工砂轮、研磨装置以及磨床	发明专利	CN202111065615.9	CN113500502A	2021-10-15

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