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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	加热装置及具有其的共蒸发加热装置	发明专利	CN201910234513.1	CN111748775A	2020-10-09
2	一种薄膜太阳能电池改性方法及其制备的电池	发明专利	CN201811594970.3	CN111370510A	2020-07-03
3	一种水浴法镀膜装置	实用新型	CN201821995282.3	CN210134023U	2020-03-10
4	一种太阳能发电看台及露天场馆	实用新型	CN201822204665.0	CN209958840U	2020-01-17
5	一种薄膜制备设备	实用新型	CN201822245710.7	CN209836303U	2019-12-24
6	一种多源共蒸发取样装置及多源共蒸发镀膜系统	实用新型	CN201822170577.3	CN209836285U	2019-12-24
7	一种蒸镀坩埚	实用新型	CN201822124190.4	CN209816259U	2019-12-20
8	一种镀膜装置	实用新型	CN201822087416.8	CN209759583U	2019-12-10
9	一种硒源加热装置	实用新型	CN201822165257.9	CN209759572U	2019-12-10
10	一种蒸发源组件和薄膜生长设备	实用新型	CN201822226646.8	CN209537607U	2019-10-25

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