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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种光栅衍射效率测试装置	实用新型	CN201922065681.0	CN210719638U	2020-06-09
2	一种基片曝光吸盘	实用新型	CN201721777171.0	CN207541410U	2018-06-26
3	一种光束干涉角调整装置及干涉角的调整方法	发明专利	CN201710447079.6	CN107121894B	2018-05-11
4	一种复制光栅分离装置	实用新型	CN201720940879.7	CN206998775U	2018-02-13
5	一种内圆切割夹具定位系统及方法	发明专利	CN201610078776.4	CN105651171B	2017-12-19
6	一种镀膜夹具	实用新型	CN201720416656.0	CN206751915U	2017-12-15
7	一种恒温显影机	实用新型	CN201720555015.3	CN206696590U	2017-12-01
8	一种方形晶片真空涂胶机	实用新型	CN201720416666.4	CN206652675U	2017-11-21
9	一种ICP刻蚀机	实用新型	CN201720416663.0	CN206628442U	2017-11-10
10	一种光刻胶去边机	实用新型	CN201720416655.6	CN206627759U	2017-11-10

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