商标信息4
专利信息17
序号 | 专利名称 | 专利类型 | 申请号 | 公开(公告)号 | 公布日期 |
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1 | 一种用于传送晶圆机械臂的联动结构及其机械臂 | 发明专利 | CN202111213312.7 | CN113787513A | 2021-12-14 |
2 | 一种轨道 | 发明专利 | CN201910374051.3 | CN110205874B | 2021-04-06 |
3 | 一种新型机械臂 | 发明专利 | CN202010997703.1 | CN112109095A | 2020-12-22 |
4 | 一种新型机械臂传动结构及包含其的机械臂 | 发明专利 | CN202010976963.0 | CN112092010A | 2020-12-18 |
5 | 一种晶圆扫描装置及扫描方法 | 发明专利 | CN202010997692.7 | CN112038279A | 2020-12-04 |
6 | 一种半导体机械手机架 | 发明专利 | CN201710191635.8 | CN106826927B | 2019-09-13 |
7 | 一种自带晶圆寻边传感器的机械手 | 发明专利 | CN201610572484.6 | CN106558526B | 2019-09-13 |
8 | 一种开盒机 | 发明专利 | CN201910374048.1 | CN110217741B | 2019-09-10 |
9 | 一种开盒机 | 发明专利 | CN201910374048.1 | CN110217741A | 2019-09-10 |
10 | 一种轨道 | 发明专利 | CN201910374051.3 | CN110205874A | 2019-09-06 |
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