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    江苏智能微系统工业技术股份有限公司

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    专利信息20

    序号 专利名称 专利类型 申请号 公开(公告)号 公布日期
    1 一种抗粘附RF MEMS开关 发明专利 CN201610959725.2 CN106602183B 2020-03-10
    2 MEMS开关的自吸合功率测试系统及方法 发明专利 CN201711022974.X CN107782476B 2019-11-22
    3 MEMS开关的自吸合功率测试系统及方法 发明专利 CN201711022974.X CN107782476A 2018-03-09
    4 MEMS继电器、悬臂梁开关及其形成方法 发明专利 CN201410151001.6 CN103943420B 2017-06-23
    5 一种抗粘附RF MEMS开关 发明专利 CN201610959725.2 CN106602183A 2017-04-26
    6 耐高温无线MEMS温度传感系统 发明专利 CN201410426020.5 CN104198060B 2017-01-18
    7 具有原子蒸气腔室的MEMS器件及其形成方法 发明专利 CN201410400532.4 CN104229719B 2016-08-24
    8 一种基于金属电极的纳米线阵列的生长方法 发明专利 CN201510194994.X CN104909336B 2016-07-13
    9 一种基于金属电极的纳米线阵列的生长方法 发明专利 CN201510194994.X CN104909336A 2015-09-16
    10 一种MEMS原子蒸气腔室的制备方法及原子蒸气腔室 发明专利 CN201110164720.8 CN102259825B 2015-04-08

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