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专利信息20
序号 | 专利名称 | 专利类型 | 申请号 | 公开(公告)号 | 公布日期 |
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1 | 一种抗粘附RF MEMS开关 | 发明专利 | CN201610959725.2 | CN106602183B | 2020-03-10 |
2 | MEMS开关的自吸合功率测试系统及方法 | 发明专利 | CN201711022974.X | CN107782476B | 2019-11-22 |
3 | MEMS开关的自吸合功率测试系统及方法 | 发明专利 | CN201711022974.X | CN107782476A | 2018-03-09 |
4 | MEMS继电器、悬臂梁开关及其形成方法 | 发明专利 | CN201410151001.6 | CN103943420B | 2017-06-23 |
5 | 一种抗粘附RF MEMS开关 | 发明专利 | CN201610959725.2 | CN106602183A | 2017-04-26 |
6 | 耐高温无线MEMS温度传感系统 | 发明专利 | CN201410426020.5 | CN104198060B | 2017-01-18 |
7 | 具有原子蒸气腔室的MEMS器件及其形成方法 | 发明专利 | CN201410400532.4 | CN104229719B | 2016-08-24 |
8 | 一种基于金属电极的纳米线阵列的生长方法 | 发明专利 | CN201510194994.X | CN104909336B | 2016-07-13 |
9 | 一种基于金属电极的纳米线阵列的生长方法 | 发明专利 | CN201510194994.X | CN104909336A | 2015-09-16 |
10 | 一种MEMS原子蒸气腔室的制备方法及原子蒸气腔室 | 发明专利 | CN201110164720.8 | CN102259825B | 2015-04-08 |
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