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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种单晶硅快速退火辅助降温装置	实用新型	CN202122002212.1	CN216074100U	2022-03-18
2	一种掺杂装置	实用新型	CN202122002055.4	CN216074099U	2022-03-18
3	一种复投容纳硼粉的原料结构	实用新型	CN202122002084.0	CN216074089U	2022-03-18
4	一种改善直拉半导体拉晶后氧化的结构	实用新型	CN202022412802.7	CN213866491U	2021-08-03
5	一种降低直拉单晶氧、碳含量的排气装置	实用新型	CN202022410624.4	CN213866490U	2021-08-03
6	一种堵头及设有该堵头的排气装置	实用新型	CN202021695457.6	CN213236559U	2021-05-18
7	一种单晶炉导流筒固定装置及运输机构	实用新型	CN202021695449.1	CN213232569U	2021-05-18
8	一种晶圆棒周转装置	实用新型	CN202021695431.1	CN213228812U	2021-05-18
9	一种晶圆片高温处理用承载装置	实用新型	CN202021696677.0	CN212874439U	2021-04-02
10	一种单晶炉提拉头校准装置	实用新型	CN202021696644.6	CN212865065U	2021-04-02

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