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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种光刻胶特性参数的测量装置及方法	发明专利	CN202111630550.8	CN114324258A	2022-04-12
2	一种制作曲面浮雕轮廓器件的掩模版图案优化设计方法	发明专利	CN202111616388.4	CN114297975A	2022-04-08
3	一种用于微复眼透镜阵列元件测量的傅里叶变换物镜	发明专利	CN202111608576.2	CN114279690A	2022-04-05
4	一种双面微柱面透镜阵列垂直度的检测装置和方法	发明专利	CN202111632964.4	CN114279303A	2022-04-05
5	一种方形基片夹持装置	发明专利	CN202111576452.0	CN114200777A	2022-03-18
6	一种用于衍射光学元件测量的傅里叶变换物镜	发明专利	CN202111301759.X	CN114019653A	2022-02-08
7	一种显影装置及方法	发明专利	CN202111291709.8	CN113960897A	2022-01-21
8	一种衍射光学元件衍射效率测量装置和方法	发明专利	CN202111240664.1	CN113945364A	2022-01-18
9	一种探测器线性度标定方法	发明专利	CN202111242209.5	CN113945276A	2022-01-18
10	一种光学元件的装调对准装置	发明专利	CN202111250161.2	CN113933950A	2022-01-14

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