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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种滤波器结构	发明专利	CN201310611494.2	CN103580647B	2016-08-10
2	一种MEMS压力敏感芯片及其制作方法	发明专利	CN201010152893.3	CN101825505B	2015-02-18
3	一种压阻传感器芯片及其制作方法	发明专利	CN201010152895.2	CN101832831B	2015-01-28
4	一种MEMS压力敏感芯片及其制作方法	发明专利	CN201010102073.3	CN101776501B	2014-08-06
5	一种流体压力传感器	发明专利	CN201310611116.4	CN103604556A	2014-02-26
6	一种滤波器结构	发明专利	CN201310611494.2	CN103580647A	2014-02-12
7	0-50Pa单片硅基SOI超低微压传感器的制备方法	发明专利	CN200810024191.X	CN101290255B	2011-08-24
8	0-100Pa单片硅基SOI高温低漂移微压传感器及其加工方法	发明专利	CN200810024192.4	CN101289160B	2011-08-24
9	兼有测量压强、温度变化功能的微型硅加速度计及其加工方法	发明专利	CN200810123700.4	CN101329361B	2011-06-15
10	一种MEMS压力敏感芯片	实用新型	CN201020166950.9	CN201716136U	2011-01-19

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