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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	碳化硅晶体的生长装置及其制备方法	发明专利	CN202010357948.8	CN111455457B	2021-09-21
2	提高晶片抛光厚度均匀性的方法	发明专利	CN202110406099.5	CN113290426A	2021-08-24
3	基于双面研磨设备的晶片研磨工艺及半导体晶片	发明专利	CN202110476836.9	CN113231957A	2021-08-10
4	晶片加工过程中的自动化流转线及自动化流转方法	发明专利	CN202110148594.0	CN112908912A	2021-06-04
5	碳化硅晶片及其加工方法	发明专利	CN202110055105.7	CN112809458A	2021-05-18
6	抛光垫修整器及其制作方法	发明专利	CN202011534980.5	CN112677046A	2021-04-20
7	碳化硅晶体的生长装置	实用新型	CN202020699264.1	CN212834142U	2021-03-30
8	一种用于晶圆存储和运输的容器	实用新型	CN202020845029.0	CN212342586U	2021-01-12
9	用于晶圆清洗的片架	实用新型	CN202020773634.1	CN212342584U	2021-01-12
10	碳化硅晶体的生长装置及其制备方法	发明专利	CN202010357948.8	CN111455457A	2020-07-28

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