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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种CVD工作台旋转装置及CVD装置	发明专利	CN202210382788.1	CN114686859A	2022-07-01
2	一种碳化硅晶圆激光切割设备	发明专利	CN202210377582.X	CN114453773B	2022-06-24
3	一种碳化硅晶圆激光切割设备	发明专利	CN202210377582.X	CN114453773A	2022-06-24
4	一种石墨盘加工转运机械手	发明专利	CN202210353987.X	CN114434475B	2022-06-17
5	一种碳化硅桨的烧结工装	发明专利	CN202210383380.6	CN114608329A	2022-06-10
6	一种感应加热外延设备	发明专利	CN202210271324.3	CN114457424A	2022-05-10
7	一种陶瓷涂层石墨托盘旋转组件	发明专利	CN202210271334.7	CN114457417A	2022-05-10
8	一种耐高温陶瓷涂层石墨托盘组件	发明专利	CN202210271333.2	CN114457322A	2022-05-10
9	一种石墨盘加工转运机械手	发明专利	CN202210353987.X	CN114434475A	2022-05-06
10	一种用于半导体制造流程的动态监控方法及系统	发明专利	CN202210143870.9	CN114429311A	2022-05-03

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