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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	压力传感器和惯性传感器及其形成方法	发明专利	CN201310508730.8	CN103708409B	2015-10-07
2	制作MEMS惯性传感器的方法及MEMS惯性传感器	发明专利	CN201210126539.2	CN103373698B	2015-09-16
3	惯性微机电传感器的制造方法	发明专利	CN201010200713.4	CN102275860B	2014-12-31
4	压力传感器及其形成方法	发明专利	CN201110433740.0	CN102515090B	2014-11-05
5	应用于三维片上集成系统的薄膜晶体管的制造方法	发明专利	CN201010568989.8	CN102487087B	2014-08-13
6	压力传感器和惯性传感器及其形成方法	发明专利	CN201310508730.8	CN103708409A	2014-04-09
7	微机电传感器及其形成方法	发明专利	CN201110129992.4	CN102249177B	2014-02-05
8	制作MEMS惯性传感器的方法及MEMS惯性传感器	发明专利	CN201210126539.2	CN103373698A	2013-10-30
9	压力传感器及其形成方法	发明专利	CN201110433740.0	CN102515090A	2012-06-27
10	应用于三维片上集成系统的薄膜晶体管及其制造方法	发明专利	CN201010568989.8	CN102487087A	2012-06-06

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