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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种减少HVPE外延膜缺陷的镓舟结构	实用新型	CN202120436381.3	CN214361833U	2021-10-08
2	HVPE密闭式手动加镓装置	实用新型	CN202022168536.8	CN213327939U	2021-06-01
3	HVPE排气、镓分离收集装置	实用新型	CN202022168549.5	CN213327938U	2021-06-01
4	用于氢化物气相外延的均匀生长反应器	实用新型	CN202022170723.X	CN213327930U	2021-06-01
5	自动净化HVPE取片舱环境系统	实用新型	CN202021897595.2	CN213327929U	2021-06-01
6	HVPE密封式自动镓源注入系统	实用新型	CN202021897628.3	CN213327928U	2021-06-01
7	HVPE腔体内部测温装置	实用新型	CN202022461018.5	CN213148130U	2021-05-07

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