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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	能够对硅部件进行提拉的清洗装置	实用新型	CN202022906440.7	CN214348281U	2021-10-08
2	一种半导体设备中研磨装置内零件的清洗工艺	发明专利	CN202010888492.8	CN112170276B	2021-08-31
3	一种半导体芯片转运装置组件的清洗与检测设备	实用新型	CN202022825697.X	CN214002560U	2021-08-20
4	一种半导体刻蚀设备硅环类零部件清洗治具	实用新型	CN202022870071.0	CN213997142U	2021-08-20
5	一种气相沉积半导体设备内多孔部件的清洗装置	实用新型	CN202022821134.3	CN213996980U	2021-08-20
6	半导体化学气相沉积装置喷头部件洗净喷砂防堵保护治具	实用新型	CN202022821090.4	CN213970700U	2021-08-17
7	一种磁性垫片剪切成型机	实用新型	CN202022821172.9	CN213969267U	2021-08-17
8	一种半导体设备铝部件清洗熔射固定装置	实用新型	CN202022825821.2	CN213924975U	2021-08-10
9	一种检测并矫正半导体设备腔体内不锈钢部件的治具	实用新型	CN202022656315.5	CN213728662U	2021-07-20
10	一种半导体设备内陶瓷顶针喷砂固定治具	实用新型	CN202022652739.4	CN213673655U	2021-07-13

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