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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种DSOI应变计及其制作方法	发明专利	CN201510395248.7	CN105091730B	2019-05-10
2	一种单片硅基微压传感器	实用新型	CN201820366252.X	CN207991720U	2018-10-19
3	新型表压传感器及其制作方法	发明专利	CN201810263734.7	CN108545691A	2018-09-18
4	一种单片硅基微压传感器及其制作方法	发明专利	CN201810222541.7	CN108458820A	2018-08-28
5	一种SOI压力应变计及其制作方法	发明专利	CN201310719756.7	CN103712721B	2016-05-11
6	高过载背压式绝压传感器模块及其制造工艺	发明专利	CN201310642617.9	CN103674397B	2016-04-20
7	一种DSOI应变计及其制作方法	发明专利	CN201510395248.7	CN105091730A	2015-11-25
8	一种DSOI应变计	实用新型	CN201520485749.X	CN204788239U	2015-11-18
9	一种SOI压力应变计	实用新型	CN201320858735.9	CN203643063U	2014-06-11
10	压力传感器的硅芯片结构总成	实用新型	CN201320788479.0	CN203616042U	2014-05-28

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